真空油，又稱分子泵油。是一種精制礦物油，一般用于分子泵或許真空泵上，真空油和一般機油有很大的差別。要根據設備制造商用油規定，選用適當運用性能和粘度等級的真空油。
在導熱油泵運用的進程中，由于真空油直接進入泵體內腔，在真空泵運行時，跟著氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。油品中飽滿蒸汽壓高的分子組分就能蒸發到真空的空間，即影響真空泵極限壓強的到達，又可向真空體系返流擴散，污染真空體系，并直接影響極限真空的取得。真空齒輪泵作業原理歸于正位移泵，導熱油泵作業時依靠主、從動齒輪的彼此嚙合造成作業容積變化來輸送熔體。作業容積由泵體、齒輪的齒槽及具有側板功用的軸承套構成。當齒輪旋轉時，熔體即進入吸入腔兩齒輪的齒槽中，跟著轉動，熔體從兩側被帶入排出腔，齒輪再度嚙合，使齒槽中的熔體被擠出排出腔，壓送到出口管道。
軸承不能運用一般的潤滑油脂，以避免污染熔體，一般采用熔體自潤滑。使導熱油泵的作業室不斷增大或縮小，當作業室的容積變小時，即與真空泵的入氣管連通，所以氣體就進入逐漸變大的作業室空間；當作業室的容積擴展時，即與入氣管分隔，使容積閥就打開。泵腔內容積不斷膨脹與緊縮，完結吸氣和排氣進程，使容器內氣體逐漸排出到達需求的真空度。真空泵運行時，跟著泵腔內轉子的旋轉，轉子上兩個縱向槽中的滑片或偏心輪上的滑閥環，緊貼著定子的內壁滑動，轉子、滑片與定子導熱油泵內壁必然依靠油品的潤滑性避免沖突副材料的擦傷，使用湖南真空油脂阻隔大氣，并帶走因沖突發生的熱量。
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